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高温炉、UV炉深圳丰而达电热科技有限公司，电话：0755-3355 4325，负责人：刘先生，深圳高温炉厂家【丰而达】教您高温炉操作规程，详情请往下看：
1 准备工作
a,检查电源线接触是否良好
b,检查连接线是否正常
c,检查冷却水是否正常
d,检查密封性是否正常
e, 准备所需工具：无尘纸、无水**、帆布手套、作业手套、**、**手套、石墨推车、不锈钢托盘
2 开炉
a,打开主电源开关
b, 向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板
c, 将输送车开关打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮，取出 。石墨坩埚，依次放置于石墨推车上输送车开关.
d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
3装料
a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。
b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到**位置。
c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门
4 抽气
a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封
b、置 ** 按钮于 ** ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，
c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。
d. 加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。
5.冷却
加热结束后，按工艺条件进行冷却；
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